(http://www.171717.org技术中心-管式气氛炉)
利用管式气氛炉快速升温制备硒化锌纳米晶薄膜的方法，取单质硒粉和单质锌粉按１∶１的摩尔比混合并转入高能球磨罐中，在氮气或氩气保护下球磨，使ＺｎＳｅ粉末的尺度为５～２０纳米；将ＺｎＳｅ纳米粉放入石英舟一端的凹槽中，硅片或石英基片放在石英舟的另一侧；再将石英舟置于长度大于管式炉炉体长度１．５倍以上的石英管中，开启抽气机排氧并充入氩气，重复三次；将石英管冷端推入管式气氛炉中，要求５分钟内将石英管内放置的ＺｎＳｅ纳米粉末原料升温到８００℃～１０００℃，使硅片或石英基片的温度为１６０℃－２４０℃即可在硅片或石英片上得到硒化锌纳米晶薄膜。本发明真空度要求低，薄膜厚度和薄膜纳米晶尺度均可通过工艺条件控制。
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